来源:专精快蚀刻 时间:2021.11.16 阅读文本仅需5分钟
造成网孔偏小的原因:
1.精度:这里说的精度包括图纸的精度和菲林的精度,若这两项的精度较低,那最后的网孔就会有偏小或者偏大的情况。
2.蚀刻剂的浓度:浓度不同的试剂蚀刻时反应的速度不同,效率也不同。正常情况下,浓度与反应速度成正比,网孔容易变大,反过来也成立。当浓度超过固定值时,蚀刻速度反而更慢。
3.蚀刻时间:蚀刻的时间长短会影响蚀刻最终效果,时间不够,可能不能达到客户要求,网孔就容易小了。
4.曝光精度:精度不够的话,网孔也会因为这个精度的大小变大变小。所以曝光精度也很重要。
这些都是影响孔径大小的原因。
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