蚀刻加工过程中的侧腐蚀是指防蚀层部分的腐蚀，这也是蚀刻加工过程需要控制的关键点之一 ，因为侧腐蚀会导致蚀刻面侧边或者四周腐蚀，对蚀刻的精度影响比较大。

(蚀刻加工车间）

产生侧腐蚀的原因比较多，例如蚀刻时间过长、蚀刻液温度过高、蚀刻液浓度过高等都会造成 侧腐蚀。